KLA iNano Nanoindentasyon Cihazı
Nanoindentasyon, malzemelerin mikro ve nanoyapı ölçeğinde mekanik özelliklerini belirlemek için kullanılan hassas bir tekniktir. KLA iNano cihazı, yüksek doğrulukla yük–derinlik ölçümleri yaparak sertlik, elastik modül, sürtünme ve yapışma özelliklerini karakterize eder. Cihaz, düşük gürültü seviyesine sahip hassas kuvvet ve yer değiştirme sensörleri sayesinde nanometre ölçeğinde tekrarlanabilir ölçümler sunar.
iNano, özellikle ince filmler, kaplamalar, mikro-yapılar ve heterojen malzemelerin mekanik performansını analiz etmek için geliştirilmiştir. Yük–derinlik eğrilerinden elde edilen verilerle malzemenin elastik, plastik ve viskoelastik davranışları detaylı olarak incelenebilir.
Uygulama Alanları:
- İnce film ve kaplama mekanik özellikleri
- Polimerler ve polimer kompozitler
- Metal ve alaşım malzemeler
- Seramikler ve camlar
- Yüzey mühendisliği uygulamaları
- Mikro-elektro-mekanik sistemler (MEMS)
- Biyomalzemeler